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工业经济论文_中国工程院院士吴汉明:硅基技

作者:网站采编
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摘要:文章摘要:几十年来,半导体产业一直遵循摩尔定律高速发展,半导体制程节点正在逐渐向3纳米演进。但是,受技术瓶颈和研制成本剧增等因素的影响,摩尔定律正在逼近物理极限。在

文章摘要:几十年来,半导体产业一直遵循摩尔定律高速发展,半导体制程节点正在逐渐向3纳米演进。但是,受技术瓶颈和研制成本剧增等因素的影响,摩尔定律正在逼近物理极限。在后摩尔时代,什么样的技术会起到关键性作用?我国又有哪些技术壁垒亟待突破?中国工程院院士、浙江大学微纳电......

文章关键词:光刻机,芯片制造,刻蚀工艺,半导体产业,石墨烯,后摩尔时代,产教融合,中国工程院院士,

论文作者:许子皓 许子皓 

作者单位:许子皓 

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文章来源:《吉林工程技术师范学院学报》 网址: http://www.jlgcjssfxyxb.cn/qikandaodu/2021/0905/1177.html



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